Отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов

3 71 119 23 20 4

Обновлено 15.03.2024Приказ РПН от 18.01.2024 N19

Внесён в ФККО 04.10.2021, Приказ Росприроднадзора от 04.10.2021 № 670

Класс опасности

4Критерий: р

Агрегатное состояние

20Прочие формы твердых веществ (29)

Плотность

2,5 до 3,0 т/м³

Происхождение отхода

Производство

Производство кремниевых полупроводниковых приборов

Процесс

Вакуумное напыление алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов

Компонентный состав

алюминий
диоксид кремния

Связанные документы

pdfПриказ Росприроднадзора от 04.10.2021 N 6700,67 МБ

Вложенность в блок и разделы

Номер	Название
3 00 000 00 00 0	Отходы обрабатывающих производств
3 70 000 00 00 0	Отходы производства машин и оборудования
3 71 000 00 00 0	Отходы производства компьютеров, электронных и оптических изделий
3 71 100 00 00 0	Отходы производства элементов электронной аппаратуры и печатных схем (плат)
3 71 110 00 00 0	Отходы производства элементов электронной аппаратуры
3 71 119 00 00 0	Прочие отходы производства элементов электронной аппаратуры

Описание отхода «Отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов»

Отходы кварцевой оснастки при вакуумном напылении алюминия в производстве кремниевых полупроводниковых приборов представляют собой смеси диоксида кремния и алюминия, образующиеся в процессе нанесения алюминиевого слоя на кремниевые подложки. Эти отходы могут содержать частицы кварца, используемого как оснастка, и остатки алюминия, что делает их потенциально ценными для повторного использования. Утилизация данных отходов требует соблюдения норм безопасности и экологических стандартов, чтобы минимизировать негативное воздействие на окружающую среду.