Растворы на основе соединений сурьмы и фосфора, отработанные при легировании кремниевых пластин
3 71 114 21 32 3
Внесён в ФККО 04.10.2021, Приказ Росприроднадзора от 04.10.2021 № 670
Класс опасности
3Критерий: р
Агрегатное состояние
32Твердое в жидком (32)
Плотность
1,5 до 2,3 т/м³
Происхождение отхода
Производство
Производство кремниевых пластин для кремниевых полупроводниковых приборов
Процесс
Легирование кремниевых пластин
Компонентный состав
- влага
- молибден
- нитрат-ион
- сульфат-ион
- сурьма
- фосфор
- хлориды
