Отходы ацетона, загрязненные фоторезистом при фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов

3 71 112 53 10 2

Обновлено 15.03.2024Приказ РПН от 18.01.2024 N19

Внесён в ФККО 22.05.2017, Приказ Росприроднадзора от 22.05.2017 № 242

Класс опасности

2Критерий: э

Агрегатное состояние

10Жидкое

Плотность

1,0 до 1,2 т/м³

Происхождение отхода

Производство

Производство диодов, транзисторов и прочих полупроводниковых приборов, включая светоизлучающие диоды, пьезоэлектрические приборы и их части

Процесс

Фотолитография в производстве полупроводниковых приборов

Компонентный состав

ацетон
фоторезист

Связанные документы

pdfПриказ Росприроднадзора от 22.05.2017 N 2423,48 МБ

Вложенность в блок и разделы

Номер	Название
3 00 000 00 00 0	Отходы обрабатывающих производств
3 70 000 00 00 0	Отходы производства машин и оборудования
3 71 000 00 00 0	Отходы производства компьютеров, электронных и оптических изделий
3 71 100 00 00 0	Отходы производства элементов электронной аппаратуры и печатных схем (плат)
3 71 110 00 00 0	Отходы производства элементов электронной аппаратуры
3 71 112 00 00 0	Отходы производства диодов, транзисторов и прочих полупроводниковых приборов, включая светоизлучающие диоды, пьезоэлектрические приборы и их части

Описание отхода «Отходы ацетона, загрязненные фоторезистом при фотолитографии в производстве полупроводниковых приборов»

Отходы ацетона, загрязненные фоторезистом, образуются в процессе фотолитографии при производстве полупроводниковых приборов, включая диоды и транзисторы. Ацетон используется для удаления фоторезиста, однако остатки этого растворителя, смешанные с загрязненным материалом, представляют собой опасные отходы. Необходима строгая утилизация данных отходов, чтобы избежать негативного воздействия на окружающую среду и здоровье человека. Утилизация должна соответствовать требованиям экологической безопасности и нормам обращения с hazardous waste.